功率器件 power devices
采用碳化硅、氮化镓等第三代半导体材料、igbt及super junction等新结构制造的新一代功率器件,具有高速、低损耗的特点,在风电、光伏、有轨交通、调频调速等新兴产业上得到广泛应用。具有节能、节材、环保等效益,未来市场前景广阔。在功率器件领域,naura自主研发的薄膜/厚膜硅外延apcvd系统、刻蚀设备及金属溅射pvd已获得国内多家功率器件客户的认可和批量采购;为多条功率器件生产线提供清洗pg电子官方网站试玩网的解决方案;先进的卧式扩散/氧化系统可以满足功率半导体领域特殊工艺的应用。
物理气相沉积设备 pvd
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应用于集成电路、功率器件、mems等领域的8寸pvd磁控溅射设备
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应用于先进封装、集成电路、功率器件、mems、led等领域的8寸pvd磁控溅射设备