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高温退火炉 / 高温氧化炉 activsic-650 / oxidsic-650
sic-650系列高温炉，适用于sic基功率器件制造中的高温工艺环节。为实现sic片在高温真空环境下完成离子激活和退火工艺，sic-650系列
高温退火炉和氧化炉，均采用立式结构设计，工艺控制好，片间温度分布均匀，工艺气流均匀稳定。本系列高温炉，采用加热腔与工艺腔独立的真空密闭设计，提高
工艺腔的气密性和洁净度。
应用领域：
sic基功率器件 、石墨烯生长
适用工艺：
高温退火、高温氧化