微机电系统 mems
采用微制造技术,集微型机构、传感器、执行器等于一体的mems器件,其小体积、集成化、智能化传感系统是未来传感器的发展方向,也是物联网的核心。在万物互联时代高速成长的大趋势下,其发展会受到来自智能硬件、智能汽车、智能工厂等领域的强大助力,并将向环境监测、医疗保健等领域不断扩展,具有十分广阔的前景。在mems领域,naura深硅刻蚀设备已批量销往多家科研机构及生产线,并获得了广泛的认可与好评;卧式lpcvd已成功应用于半导体级碳纳米管生长;并成功研发先进氮化铝薄膜沉积设备及工艺pg电子官方网站试玩网的解决方案。
氧化扩散设备 oxide/diff
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广泛应用在高附加价值微电子产业,用于sixny(含低应力)、sio2、poly-si等薄膜淀积,满足多种高端成膜需求。
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卧式扩散/氧化系统可满足扩散、干/湿氧氧化、退火、合金等多工艺需求,广泛用于ic、power、pv、mems、led等领域。