微机电系统 mems
采用微制造技术,集微型机构、传感器、执行器等于一体的mems器件,其小体积、集成化、智能化传感系统是未来传感器的发展方向,也是物联网的核心。在万物互联时代高速成长的大趋势下,其发展会受到来自智能硬件、智能汽车、智能工厂等领域的强大助力,并将向环境监测、医疗保健等领域不断扩展,具有十分广阔的前景。在mems领域,naura深硅刻蚀设备已批量销往多家科研机构及生产线,并获得了广泛的认可与好评;卧式lpcvd已成功应用于半导体级碳纳米管生长;并成功研发先进氮化铝薄膜沉积设备及工艺pg电子官方网站试玩网的解决方案。
清洗设备 cleaning tool
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12英寸单片清洗机广泛应用在90nm-28nm 集成电路、先进封装、微机电系统领域。
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全自动湿法腐蚀设备搭载多种先进干燥技术,可实现晶片干进干出。
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手动槽式清洗机功能灵活,配置丰富,操作界面友好,应用广泛。
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手动湿法腐蚀设备尺寸兼容性好,设备稳定性高,腐蚀均匀性好。