ds300 压力式质量流量控制器
ds300 pressure mass flow controller
- 设备特点
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- 基于pts(pressure，temperature，space)的压力传感技术
- 基于ai的压力控制技术
- 全金属耐腐蚀技术
- 高准确度及高可靠性
- 产品应用
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- 流量规格(n₂)(0～30,50,100,200,300,500) sccm (0～1,2,3,5,10) slm
- 准确度±1% s.p. (≥10% f.s.) ，±1% f.s. (＜10% f.s.)
- 重复精度±0.2% f.s.
- 响应时间≤ 0.5sec
- 工作压力0.45mpa
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