预防雾化单元 -pg电子夺宝试玩

pg电子夺宝试玩-pg电子官方网站试玩网产品&服务半导体装备辅助设备预防雾化单元

半导体装备 semiconductor

hpu series

预防雾化单元

hpu series 预防雾化单元

hpu series hazing prevent unit

hpu系列预防雾化单元应用于平板显示客户、集成电路客户的曝光机镜面防雾化，祛除吸入曝光机中的amc污染物。

设备特点

为曝光设备提供精密的温湿度和超洁净气体，大幅提升良率
结构设计符合人机功能学，耗材取换过程简便快捷
温湿度和风量调节范围大，多种组合配方满足复杂厂务需求

产品应用

湿度控制精度
≤±2%rh
温度控制精度
≤±1℃
适用领域
主要用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂的曝光机镜面防止雾化去除吸入曝光机中的酸、碱、voc和微粒污染物

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