cvi330 化学气相沉积炉
cvi330 chemical vapor deposition furnace
- 设备特点
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- 多区控温，更优温度均匀性，可拓宽客户工艺需求
- 模块化保温设计，具有较低的保温功率，降低能耗，助于发展低碳经济
- 通过模拟分析，设计合理的碳源分配系统，可满足客户多种产品工艺要求
- 自动内外室压差控制系统，提升设备可靠性，延长热区使用寿命
- 更优的快冷系统设计，冷却效率更高，提高生产效率
- 多级冷凝和过滤装置，提高设备稳定性
- 技术指标
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- 温度范围≤1160℃
- 有效区φ3300×3800mm
- 温度均匀性≤±10℃
- 分压1000~10000pa
- 压升率50pa/h
- 连续运行时间≥350h
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