crjm/czrjm series 真空卷绕pvd镀膜设备
crjm/czrjm series roll to roll web pvd coater
- 设备特点
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- 优化的腔室结构设计，镀膜沉积环境整体控制，保障成膜质量
- 良好的气氛隔离技术，兼容金属溅射和反应溅射同时工作
- 精确的张力控制系统，可实现分段张力控制
- 灵活的卷绕系统设计，可实现正、反卷绕，可兼容各种厚度基材
- 特制磁场低温沉积技术，偏压吸附技术，实现高动态沉积速率
- 技术指标
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- 柔性基材适用于金属箔、柔性塑料、玻璃纤维布、石墨等基材
- 基材厚度≥4.5µm
- 主鼓温度-35~35℃
- 卷绕速度0.5~300m/min
- 张力范围15~600n，控制精度范围±2n
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