pss刻蚀机 -pg电子夺宝试玩

pg电子夺宝试玩-pg电子官方网站试玩网产品&服务半导体装备等离子刻蚀设备 pss刻蚀机

半导体装备 semiconductor

elede® 380f

pss刻蚀机

elede® 380f pss刻蚀机

elede® 380f pss etcher

elede® 380f刻蚀机是应用于led衬底刻蚀工艺的等离子体干法刻蚀机，配置单/双反应腔、托盘式、多片tray in tray out全自动作业。设备适用于mini led、micro led多种衬底刻蚀，覆盖pss、npss、cpss刻蚀工艺。

设备特点

先进的平面等离子体发生装置，高选择比，更大的工艺窗口
良好的侧壁形貌及均匀性控制
9 片4 英寸托盘，工艺时间短，大产能
专业的工艺套件设计，更长的耗材寿命，更低的coo

产品应用

晶圆尺寸
2、4、6 英寸及特殊尺寸
适用材料
蓝宝石，氧化硅等
适用工艺
纳米级/图形化pss刻蚀、复合衬底刻蚀
适用领域
半导体照明、mini led

分享我们：

联系pg电子官方网站试玩网