pinnacle200平台适用于8英寸wafer recycle, pr strip, b-clean, std clean, oxide removal, metal removal, h3po4清洗工艺。该机台主要由传输模块、工艺模块、药液供给系统、电源柜等组成。传输模块将晶圆传送到指定位置，可同时传送50片，工艺模块用于清洗和蚀刻，药液供给模块用于高精度药液配比、加热、供给、浓度监测。
