12英寸单片清洗设备 -pg电子夺宝试玩

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半导体装备 semiconductor

sc3080

12英寸单片清洗设备

sc3080 12英寸单片清洗设备

sc3080 12 inch single wafer clean tool

sc3080设备可同时配备多种药液，主要用于12英寸后段和前段清洗工艺。该机台主要由传输模块、工艺模块、药液供给模块、电源柜等组成，标配8个腔室2套药液系统，能够进行全自动dry in dry out清洗工艺。

设备特点

精密的腔室微环境控制能力
支持多种化学品
高效的化学品回收效率
4 腔或8腔可选
优秀的干燥效果

产品应用

晶圆尺寸
12英寸
适用材料
单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、介质膜、金属膜
适用工艺
后段cu/al 制程刻蚀后、al pad、背面清洗、背面刻蚀，后段控挡片回收
适用领域
集成电路、先进封装、功率半导体、硅基微显示

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