flouris x201h主要用于8英寸高温氧化及退火工艺。该机台为批式热处理设备，主要由工艺腔室、传输系统、气体分配系统、尾气系统和温度控制系统等组成，具有片内均匀性好、自动化程度高、系统性能稳定的特点，可满足大规模集成电路生产线要求。，可实现干氧、湿氧和掺氯氧化工艺及退火工艺，支持1200℃高温氧化工艺。
