evictor series 8英寸物理气相沉积系统
evictor series 8 inch pvd system
- 设备特点
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- 专业的加热基座设计，具备良好的温度均匀性，高温厚铝工艺连续作业无累温
- 高温铝工艺具备高深宽比填充能力
- 背金工艺薄片传输及工艺，过程温度实时监控，精确的温度控制能力和良好应力控制能力
- 双腔传输平台，可支持10 个工艺模块
- 靶材利用率高，大产能，低运营成本
- 产品应用
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- 晶圆尺寸8 英寸
- 适用材料钛、氮化钛、高温铝、 镍、镍钒、银
- 适用工艺正面电极工艺、背面金属化工艺
- 适用领域集成电路、功率半导体、科研领域、化合物半导体
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