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半导体装备 semiconductor

tcu series

精密恒温恒湿机

tcu series 精密恒温恒湿机

tcu series thermal control unit

tcu 精密恒温恒湿机在基板曝光前可保持基板表面曝光前温度的均匀性。tcu为一精密温度控制设备，空气经由tcu处理后，温度控制的精度可达目标温度±0.01℃，此设备可满足制程环境更精准的温控需求，确保产线环境的稳定性及产品的良率。

设备特点

精密温湿度控制，确保曝光机、显影/ 涂布设备等制程良率
可根据客户需求风量定制，送风单元结构均匀布置
温度控制的精度可达目标温度±0.01℃，确保产线环境的稳定性及产品的良率

产品应用

温度控制精度
±0.1℃~±0.01℃
湿度控制精度
±2%rh~±1%rh
适用领域
主要用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂精密温湿度控制

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