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  半导体器件工艺生产过程中的成品、半成品和原材料氮气存储柜是将高纯氮气充入柜内,使柜内形成微正压,隔绝外界空气,形成良好的干燥无氧气的洁净存储空间,其清洁度达到半导体行业内对存储环境的要求,能够更好的存储半导体器件工艺生产过程中的成品、半成品和原材料。广泛用于集成电路、半导体照明、功率器件、微机电系统以及光伏电池等领域

应用领域:

  集成电路,光伏,功率半导体,微机电系统

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