北方华创微电子获micro-pg电子夺宝试玩

2018年3月，北方华创微电子12英寸刻蚀机、pvd及立式退火炉获得微显示领域客户的批量采购订单，标志着北方华创微电子半导体设备技术成功延伸应用于oled（micro-oled）这一新型显示领域。

micro-oled是以单晶硅为有源驱动背板制作的oled显示器件，区别于常规的利用非晶硅、微晶硅或者低温多晶硅薄膜晶体管（ltps）为背板的amoled器件，其像素为传统显示器件的1/10，具有高分辨率、高集成度、低功耗、体积小、重量轻等优势。随着vr/ar的广泛应用，micro-oled等新型显示技术得以快速发展。据高盛预测，到2025年，vr和ar的软硬件年销售额将达到800亿美元。

micro-oled是半导体技术与oled显示技术完美结合的产物，可利用半导体制造工艺来实现。北方华创微电子利用半导体设备技术基础，已经成功的将金属刻蚀、介质刻蚀、金属溅射、氧化物溅射、中低温退火等工艺设备应用于micro-oled显示领域，相关设备可兼容多种衬底，具备灵活的工艺整合能力，满足新型显示领域客户多种制造工艺的要求。